阳极氧化铝模板制作方法及利用该模板制作场发射阴极阵列材料方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种阳极氧化铝模板制作方法及利用该氧化铝模板制作场发射阴极阵列材料方法,通过采取一系列表面保护措施,制得形貌规则、表面洁净的阳极氧化铝模板再利用水热等方法向氧化铝模板纳米孔洞中灌注有机物质、金属有机溶液或溶胶,再经过凝胶化、高温碳化、去氧化铝模板等工艺得到场发射垂直纳米线或纳米管阵列阴极材料。由这种方法制得的场发射阴极材料形貌规则、场发射性能测试中开启电压较小,且种方法工艺较简单、易于实现大面积场发射材料的制作。 - 佰腾专利检索

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